用于晶圆厂设备监控的预测性维护方案
半导体设备工程师必须密切监控气体瓶柜和冰水主机的运行状态，以确保设备监控系统的效能。透过及时调整这些关键设备，工程师可以预防生产线的中断，从而避免可能导致的重大损失。这种主动的监控和维护策略对于保持半导体制造流程的顺畅和效率至关重要
 
用户需求
同时要量测电流讯号和接收来自气瓶柜加密过的信息，并传递到场域内部的数据收集系统
 
解决方案
1. 监控流量计/水位传感器的电流讯号：
• 需要量测范围在4至20mA的电流讯号
2. 接收加密的OPC UA信息：
• 从气瓶柜接收经过加密的OPC UA信息
3. 资讯整合与传递：
• 将收集到的信息进行客制化整合后，透过Modbus TCP通讯协议发送至场域内部的数据收集系统
• 有效率的大量部署